Growth and characterization of TiN/SiNx multilayer thin films

Författare
Luleå tekniska universitet Hans Söderberg
(Hans Söderberg., Diss. Luleå : Luleå tekniska universitet, 2006)
Genre
Avhandlingar, theses
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Division of Engineering Materials, Luleå University of Technology 2006 Sverige, Luleå [14], 146 sidor.