Growth and characterization of TiN/SiNx multilayer thin films
- Författare
- Luleå tekniska universitet Hans Söderberg
- (Hans Söderberg., Diss. Luleå : Luleå tekniska universitet, 2006)
- Genre
- Avhandlingar, theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Division of Engineering Materials, Luleå University of Technology | 2006 | Sverige, Luleå | [14], 146 sidor. |